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XRF分析儀的三點(diǎn)分析模式
更新時間:2018-08-28   點(diǎn)擊次數(shù):1664次
XRF分析儀主要由激發(fā)源(X射線管)和探測系統(tǒng)構(gòu)成。其原理就是:X射線管通過產(chǎn)生入射X射線(一次X射線),來激發(fā)被測樣品。受激發(fā)的樣品中的每一種元素會放射出二次X射線(又叫X熒光),并且不同的元素所放射出的二次X射線具有特定的能量特性或波長特性。XRF分析儀一般有以下三點(diǎn)分析模式:
1、點(diǎn)分析
將電子探針固定在試樣感興趣的點(diǎn)上,進(jìn)行定性或定量分析。該方法用于顯微結(jié)構(gòu)的成份分析,例如,對材料晶界、夾雜、析出相、沉淀物、奇異相及非化學(xué)計(jì)量材料的組成等分析。
2、線分析
電子束沿一條分析線進(jìn)行掃描(或試樣掃描)時,能獲得元素含量變化的線分布曲線。如果和試樣形貌像(二次電子像或背散射電子像)對照分析,能直觀地獲得元素在不同相或區(qū)域內(nèi)的分布。沿感興趣的線逐點(diǎn)測量成分,也可以劃出該線的成分變化曲線。
3、面分析
將電子束在試樣表面掃描時,元素在試樣表面的分布能在CRT上以亮度分布顯示出來(定性分析),亮度越亮,說明元素含量越高。研究材料中雜質(zhì)、相的分布和元素偏析常用此方法。面分布常常與形貌像對照分析。
點(diǎn)、線、面分析方法用途不同,檢測靈敏度也不同,定點(diǎn)分析靈敏度zui高,面掃描分析靈敏度zui低。 
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